ISO 29463 HEPA / ULPA 표준성능시험법
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ISO 29463 HEPA / ULPA 표준성능시험법
ISO 29463 시험법은 비교적 최근 공포된 ISO 표준시험법으로써 HEPA / ULPA 필터에 대한 필터 테스트 표준성능시험법에 대하여 규정을 하고 있습니다.
HEPA /ULPA 필터 원단 (Media) 시험법에는 다음과 같습니다.
<관련 시험법 규정 >
DIN EN 1822-1 HEPA/ULPA 필터 등급
ISO 29463-1 HEPA/ULPA 필터 등급
ISO 29463-2 측정 장비 및 에어로졸 발생
ISO 29463-3 HEPA/ULPA Filter Media 테스트
ISO 26463-4 HEPA/ULPA Fliter Element 누출 테스트
ISO 29463-5 HEPA/ULPA Filter Element 효율 테스트
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ISO 29463 시험절차 (Test Procedure)
1. 필터 재료의 MPPS 및 효율(ISO 29463-3) 검출
2. 필터 엘리먼트(Filter Element ) 의 제조
3. 완전한 요소 (ISO 29463-5)에서 MPPS 및 효율성(ISO 29463-3) 감지
4. 누출 테스트 (ISO 29463-4)는 경우에 따라 29463-5도 수행할 수 있습니다.
필터 등급(Grade) EN 1822-1
Standards in Filter Testing for HEPA / ULPA Filters
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ISO 29463-3 HEPA/ULPA Filter Media 테스트
필터원단(Flat) 소재에서 MPPS의 효율성 감지
•MPPS (Most Penetration Particle Size) 최대량 투과 입자 크기(μm) 의 측정
•MPPS 관련 효율성
• 기류(면 속도)에서 압력 강하 조정
•요구사항:
−MPPS 범위에서 최소 6가지 크기 등급
- 다운스트림(down stream) 측정을 위한 충분한 통계적 신뢰성
•다분산 에어로졸 -> 에어로졸 분광계로 테스트
- 시험 횟수에 따른 평균 직경의 범위에서 Aerosol 측정
•단분산 에어로졸로 테스트 -> CPC로 DEMC 0.04 -0.8μm
Minimum Requirements for Measuring Technology
에어로졸 분광계:
−0.10 ~ 2.0 μm의 필수 크기 범위
−중형: 5개 등급
−요소: 2 크기 등급
•미분 이동성 (Differential Mobility Analysis) 분석:
−0.01 –0.8 μm의 필요한 크기 범위
−입자 농도: 10³ cm-3–106cm-3
ISO 29463-5
Overall Efficiency Test for Filter Elements (Complete Finished Element)
• 클래스 ISO 15 E에서 ISO 75 U까지의 필터에 적용 가능.
•MPPS에서 효율 검출 – MPPS의 가장 침투성 입자 크기
• 테스트 에어로졸의 평균 직경은 MPPS 범위에 있어야 합니다.
MPPS | Remarks | |
유리 섬유 원단(Media) | –0.12 –0.25μm | -> Promo® 1000 및 Promo® LED로 가능 |
멤브레인 원단(Media) | 예: PTFE – 약. 0.07 μm | -> U-SMPS 시스템 필요 |
진공 청소기 원단(Media) | – 20nm까지 | –> U-SMPS 시스템 필요 |
ISO 29463-4
Scan Test for Leakage of Filters (Complete Finished Element)
클래스 ISO 35 H에서 ISO 75 U까지의 필터에 적용 가능(추가 누출 테스트 필요) 필터는 CPC 또는 광학 입자 계수기(OPC) 로 누출에 대해 전체 영역을 스캔합니다.
ISO 29463-4는 또한 누출 감지를 위한 대체 방법을 설명합니다.
Palas 공급 가능 테스트 시험 장비 범위