제품설명



♣ Main Chamber 초기 치환작업

1. Control box에서 power s/w를 on시킨다.

2. 포토헬릭게이지 눈금을 Low +1inch H₂O에서 High +5inch H₂O정도에 맞춘다.

3. Flower meter 손잡이를 시계 반대방향으로 돌려 포인트가 20ℓ/min정도 유지하도록 한다.

4. Pass Box의 진공 Ball V/V를 열면 진공펌프가 작동되며 Vacuum Gauge 눈금이 -76cm Hg(1Torr)까지 되도록 작동시킨 다음 닫는다.

5. 1시간 정도 유지하면서 Vacuum Gauge 눈금이 이상 없으면 다음 작업에 임한다.

6. Pass Box의 Ball V/V를 연다. 이 때 Main chamber의 Gas가 Pass Box로 흘러 들어가며 글러브가 처지게 되고 Flowmeter를 통해 가스가 Main chamber로 흘러간다.

7. 너무 급히 글러브가 처지면 Ball V/V를 닫았다 열었다 하면서 Vacuum Gauge의 눈금이 0cm Hg (760Torr)까지 오면 닫는다.

이 때 가스는 Main chamber에 계속 흘러 들어가 Photoheric Gauge눈금이 5inch H₂O가 되면 멈춘다.

8. Vacuum ball V/V를 열어 Antechamber내부를 진공시킨다. (6번에서10번까지 작업을 반복한다)

♣ 준비작업

1. 내, 외부를 깨끗이 닦아낸다.

2. Pass Box 내, 외부 도어의 실리콘 패킹 부위에 옆은 진동그리스를 바른다.

3. 각 밸브 및 스위치 작동상태를 확인한다.

4. 사용가스 (N₂, AL, He등) 호스를 연결하고 압력에 견디도록 클램프를 조인다.

(수분제거용 필터를 연결하면 더욱 안전하다.)

5. 진공펌프를 Pass Box상단의 Vacuum Drain pipe에 연결한다.

(오일 역류방지를 위해 트랩을 활용하면 더욱 안전하다.)